真空皮安级电流4探针位移冷热台现场测试

近日，根据客户需求，测试工程师对皮安级电流4探针位移冷热台，进行显微镜适配测试以及控温测试。

一、产品简介

重光科技皮安级电流4探针位移冷热台是一款针对材料研究过程中变温电学测试而设计的产品，可表征材料升温和降温阶段，测试变温电阻，以及电学性能随温度变化的特征。

此型号通过调节外部探针臂，移动内部探针位置，可进行高精度的XYZ方向位移，另外内部设计了24个电极线，方便连接多种源表，进行不同类型的电学测试（例如介电常数、铁电常数、IV曲线、变温电阻等）。

真空皮安级电流4探针位移冷热台采用液氮制冷、电阻加热的方式，实现-190~500℃范围内精准控制，可与电学仪表（如源表、万用表等）搭配集成，进行变温测试。

二、产品参数

项目	技术参数
冷热方式	液氮制冷，电阻加热
温度范围	-190~500℃
温度稳定性	±0.1℃
温度分辨率	0.1℃
电流精度	1pA
位移精度	4臂直流XYZ操控精度±0.01mm，XYZ位移范围±6.5mm
真空度	≤0.1Pa（含机械泵、真空计）
探针	4套同轴探针，真空三同轴SMA接口
载物台尺寸	31*30mm 方形载物台
载物台材质	银质

三、测试结果

RT~500℃

RT~ -190℃

变温电阻测试