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高低温位移探针台

重光科技OE系列探针台，根据制冷方式分为液氮制冷和GM制冷机两种，温度范围从-260℃度到600℃可控。产品兼容低至1pA的直流信号，50GHz的高频信号以及1KV的高压信号；显微镜、探针、变温模块可自行切换，提供拓展的物性测量软件，包含光电热等测试功能；广泛应用于半导体工业、MEMS、超导、电子学、物理学和材料学等领域，可以做标准的IV、CV、微波和光电实验。

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型号	TS600E-OE	TS600E-HF	GM-6K-OE
制冷方式	液氮		GM制冷机
温度范围	-190℃到500℃		6K到320K
显示精度	0.1℃		0.001K
控温精度	±0.1℃		±0.01K
最大加热速率	50℃/min		20K/min
最大冷却速率	-30℃/min		10K/2h
样品台大小	30*30mm		Φ40mm
正面观察窗大小	Φ41mm单面(可订制)
观察窗材质	JGS1石英材质（透射波段185nm-2500nm）
光路	反射
外观尺寸	45045072mm	45045090mm	4504501000mm
腔体净重	10kg		90kg
探针类型	直流位移探针	高频位移探针	参考TS600E-OE、HF
调节方式	位移旋	钮调节
探针材质	钨钢或铍铜(探针针尖1um)	50g高频探针或直流探针
探针数量	4个(可拓展为6个)	4个
探针接口	B型/BNC/三同轴
腔室环境	真空≤1Pa/真空
电流参数	pA级